激光销蚀

高效晶硅PERC电池激光加工工艺

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背钝化工艺可以减少载流少子在晶圆背面的复合,从而提高了晶圆的能量转换效率。激光销蚀可应用于高效晶硅PERC电池背面开槽。工艺要点是选择合适的激光以及激光加工窗口对钝化层进行开槽。激光把一层很薄的钝化层销蚀掉,产生约30-40um宽的销蚀线槽。电池的背电极由铝银浆通过这些销蚀线槽与硅基材烧结而成,形成良好的电接触。

工艺特征

  • 532nm波长短脉冲激光实施PERC背钝化开槽
  • 烧结后增加了电池片的开路电压和闭路电流
  • 单晶电池片效率提升1.0+%