激光销蚀

高效晶硅PERC/双面PERC电池皮秒激光加工工艺

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背钝化工艺可以减少载流少子在晶圆背面的复合,从而提高了晶圆的能量转换效率。皮秒激光销蚀可应用于高效晶硅PERC电池背面开槽。工艺要点是选择合适的激光以及激光加工窗口对钝化层进行开槽。皮秒激光把一层很薄的钝化层销蚀掉,产生了许多约30-40um宽的销蚀线槽。电池的背电极由铝银浆通过这些销蚀线槽与硅基材烧结而成,3.5%的接触面积就可以形成良好的电接触。

工艺特征

  • 硅基材皮秒激光加工损伤轻微
  • 烧结后增加了电池片的开路电压和闭路电流,皮秒激光工艺比纳秒工艺电池片效率高+0.05-0.1%
  • 电池片效率提升0.7%-1.0%