激光掺杂

PSG激光掺杂

选择性发射极激光掺杂(LDSE)

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第一种工艺是利用PSG层,使用激光进行掺杂,增加电极的导电性,

第二种工艺是选择性发射极激光掺杂LDSE工艺,它提高晶圆对短波长光子的吸收。与电镀工艺结合起来还可以减少电极的遮荫面积,提高电池片的能量转换效率。

 

 

工艺特征

  • 两种激光掺杂工艺均可以产生优良的导电性
  • LDSE激光掺杂线较窄,减少晶圆的遮荫面积
  • LDSE可以结合Self-aligned 电镀工艺