SolarLase-SE, 太阳能PSG激光掺杂设备

SolarLase-SE 是PSG激光掺杂设备,应用于高效太阳能电池的生产。

solarlase-SE

设备特征

  • 6000WPH
  • 晶圆尺寸: 156mm
  • 激光应用:PSG激光掺杂,532nm
  • 加工台面:旋转工作台
  • 二维扫描头
  • 晶圆边缘自动定位

SolarLase-SE 是PSG激光掺杂设备,应用于高效太阳能晶硅电池的生产,产率为6000WPH。设备结构为模块式,安装两台532nm激光器,每台激光对应独立的光束控制和传送系统。每条光路传输系统可以独立控制光斑大小,焦距位置,和激光功率。设备使用花岗岩平台,确保光学和机械的稳定性。 SolarLase-SE 达到激光Class I 安全标准;设备带有除尘系统,把激光加工产生的灰尘处理干净,保持加工件的清洁。

SolarLase-SE 具有高精度晶圆对准能力,满足PSG激光掺杂的精度要求。高倍CCD相机在背光照明下根据晶圆边缘为晶圆精确定位。

SolarLase-SE  软件的使用十分便捷,用户可以在软件向导的帮助下快速编辑配方,使得操作员可以一键式完成晶圆加工的操作。 我们还根据客户的具体要求在软件中提供更为方便使用的工具。